旋片式真空泵因泵浦內(nèi)安置旋片而得名，是一種氣體輸送型真空泵浦。利用泵浦內(nèi)可變?nèi)莘e而獲得真空。主要有單級和雙極兩種旋片式真空泵。

    雙級旋片真空泵主要組成構件：缸體，轉(zhuǎn)子，旋片，端蓋、油箱、彈簧

    雙級旋片真空泵工作原理

    旋片泵的旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時，與吸氣口相通的空間A 的容積是逐漸增大的，正處于吸氣過程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處于排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，正處于壓縮過程。由于空間A的容積是逐漸增大（即膨脹），氣體壓強降低，泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內(nèi)的壓強，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時，即轉(zhuǎn)至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，zui后與排氣口相通。當被壓縮氣體超過排氣壓強時，排氣閥被壓縮氣體推開，氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。由泵的連續(xù)運轉(zhuǎn)，達到連續(xù)抽氣的目的。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級（低真空級），由低真空級抽走，再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中，即組成了雙級泵。這時總的壓縮比由兩級來負擔，因而提高了極限真空度。

    雙級旋片真空泵特點：

    1.結構簡單緊湊，易以維護和保養(yǎng)。

    2. 采用風冷散熱，無需冷卻水。.

    3.電機與泵體采用直連方式，解決了傳統(tǒng)皮帶及齒輪松弛損耗問題，同時噪音更低。

    4.內(nèi)置能排氣過濾器，所抽氣體可以直接排放，無污染。

    5. 進氣口有逆止閥,當泵浦停止時,此逆止閥可隔離泵浦于系統(tǒng),避免真空油逆流.

    6. 低震動,不需用基礎螺拴固定泵浦。

    7. 運轉(zhuǎn)聲音小。

    8. 具氣體壓載閥,可適用於蒸氣之制程。

    9.即在真空度0.5mbar到40mbar之間進入泵浦入口之水蒸氣,會從泵浦出氣口*排出,而不會在泵浦內(nèi)發(fā)生凝結現(xiàn)象。